产品特点:
.使用甲基异丁基甲酮和硅氧烷为载体的混合溶剂。FOX-15是一种可流动的无机聚合物,满足工业对改进介电材料、潜在的高温粘合和表面平滑处理的需求。
.不刻蚀,可控制膜厚,仅为0.95µm。高度透明,在紫外线下可转换为SiO2 -使其成为良好防腐材料。
材料的流动特性。
·低粘度:自流平便于操作。局部平坦化能力,表面平滑,,间隙填补能力优异。
注意事项:
·本品须冷藏保存。
·本品不可用任何溶剂进行稀释。
使用方法:
.使用标准旋涂设备,在一定宽度范围内旋涂
.旋涂后,进行加热是溶剂挥发,并使材料熔融。
适用场合:
.半导体,用于高温应用的透明材料粘接
.多层金属集成电路设计中的层间介质材料